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第4章

硬核強(qiáng)國(guó)硬:從光刻機(jī)到星空戰(zhàn)艦

系統(tǒng)初顯------------------------------------------,陳遠(yuǎn)舟準(zhǔn)時(shí)出現(xiàn)在**國(guó)的辦公室門(mén)口。,不大,也就二十來(lái)平米,但收拾得干干凈凈。墻上掛著幾幅字畫(huà),最顯眼的是一幅"天道酬勤",落款是個(gè)他不認(rèn)識(shí)的名字。,面前堆著一摞文件,正戴著老花鏡在看。,他抬起頭,摘下眼鏡,瞇著眼睛看了看門(mén)口。"進(jìn)來(lái)。"。"張叔。""坐。"**國(guó)指了指對(duì)面的椅子,"茶還是水?""白水就行。",然后自己也坐了下來(lái),上下打量著他。"瘦了,"他說(shuō),"也憔悴了。車(chē)禍的事,我聽(tīng)**說(shuō)了個(gè)大概。怎么搞的?這么大人了,還不會(huì)照顧自己?""是我的錯(cuò)。"陳遠(yuǎn)舟低下頭,"讓張叔擔(dān)心了。""擔(dān)心你?"**國(guó)哼了一聲,"我擔(dān)心的是**。你要是有個(gè)三長(zhǎng)兩短,我看他這把老骨頭還能不能撐住。"。"張叔,我想明白了。"
"想明白什么了?"
"芯片這件事,我還要繼續(xù)做下去。"
**國(guó)看著他,沒(méi)有說(shuō)話。
陳遠(yuǎn)舟繼續(xù)說(shuō):"我知道您可能覺(jué)得我不自量力。28納米國(guó)產(chǎn)光刻機(jī),全世界能做到的也就那么幾家,我一個(gè)剛畢業(yè)的小年輕,憑什么?但我想試試。"
"為什么?"**國(guó)問(wèn)。
"因?yàn)檫@件事,總得有人做。"
**國(guó)盯著他看了很久。
然后他笑了。
"你這小子,倒是有點(diǎn)**年輕時(shí)候的倔勁兒。"
他從抽屜里拿出一份文件,推到陳遠(yuǎn)舟面前。
"看看吧。"
陳遠(yuǎn)舟拿起來(lái)翻了翻,是一份調(diào)研報(bào)告,標(biāo)題是"關(guān)于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備突圍路徑的思考"。
他快速掃了一遍,越看越心驚。
這份報(bào)告里提到的很多問(wèn)題,和他腦子里2045年的解決方案竟然不謀而合。
比如報(bào)告提到,國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的最大短板在于光源和物鏡系統(tǒng),而報(bào)告中建議的突破方向,和他讓系統(tǒng)分析的結(jié)果高度一致。
"您這份報(bào)告……"他抬起頭,看著**國(guó)。
"是我寫(xiě)的。"**國(guó)說(shuō),"花了大半年時(shí)間,跑了幾十家企業(yè),找了上百個(gè)專(zhuān)家。你猜怎么著?"
"怎么著?"
"沒(méi)人愿意做。"**國(guó)嘆了口氣,"我問(wèn)那些企業(yè)老板,愿不愿意花五年時(shí)間、十個(gè)億去攻關(guān)一個(gè)可能失敗的項(xiàng)目。你猜他們?cè)趺凑f(shuō)?"
陳遠(yuǎn)舟沒(méi)說(shuō)話。
"他們說(shuō):張司長(zhǎng),我們是企業(yè),要吃飯的。您說(shuō)的這個(gè)方向,周期太長(zhǎng)、風(fēng)險(xiǎn)太大,我們玩不起。"
**國(guó)搖搖頭:"我又去問(wèn)那些科研院所的專(zhuān)家。他們說(shuō):方向是對(duì)的,但需要工業(yè)基礎(chǔ)配合,我們實(shí)驗(yàn)室里的東西,離能用在產(chǎn)線上還差十萬(wàn)八千里。"
"兩頭堵,是吧?"陳遠(yuǎn)舟說(shuō)。
"兩頭堵。"**國(guó)點(diǎn)頭,"企業(yè)要短期回報(bào),科研要工業(yè)驗(yàn)證,誰(shuí)也不愿意先走一步。結(jié)果就是:原地踏步,永遠(yuǎn)被人卡脖子。"
他看著陳遠(yuǎn)舟,眼神里有一種說(shuō)不清的東西。
"小陳,我今天把你叫過(guò)來(lái),不是想聽(tīng)你表決心。我是問(wèn)你一個(gè)問(wèn)題。"
"您說(shuō)。"
"如果我告訴你,有一條技術(shù)路線,可能繞過(guò)EUV光刻機(jī)的限制,在現(xiàn)有工業(yè)基礎(chǔ)上做出28納米甚至更先進(jìn)的芯片,你信嗎?"
陳遠(yuǎn)舟心跳加速。
"什么路線?"
"納米壓印。"**國(guó)說(shuō),"我聽(tīng)說(shuō)你之前也研究過(guò)這個(gè)方向?"
陳遠(yuǎn)舟愣了一下。
他快速翻了翻原宿主的記憶,發(fā)現(xiàn)原宿主確實(shí)在白板上寫(xiě)過(guò)"納米壓印"這幾個(gè)字,但后面的備注是"技術(shù)路線存疑,需進(jìn)一步論證"。
看來(lái)**國(guó)早就盯上他了。
"這個(gè)方向,我研究過(guò)。"陳遠(yuǎn)舟斟酌著措辭,"理論上是可行的,但實(shí)際做起來(lái),有兩個(gè)大問(wèn)題。"
"什么問(wèn)題?"
"第一,模板加工精度不夠。"
"第二,壓印過(guò)程中的對(duì)準(zhǔn)誤差。"**國(guó)接過(guò)話頭,"這兩個(gè)問(wèn)題,我也知道。問(wèn)題是,怎么解決?"
陳遠(yuǎn)舟沉默了幾秒鐘。
他在心里問(wèn)系統(tǒng):"能告訴他嗎?"
"宿主與第三方的信息交互不在本系統(tǒng)的限制范圍內(nèi)。但建議宿主注意信息保護(hù),避免核心技術(shù)泄露。"
陳遠(yuǎn)舟做出了決定。
"張叔,我能跟您說(shuō)實(shí)話嗎?"
"說(shuō)。"
"我有辦法解決這兩個(gè)問(wèn)題。"
**國(guó)愣住了。
"你說(shuō)什么?"
"我說(shuō),"陳遠(yuǎn)舟看著他的眼睛,一字一句地說(shuō),"我有辦法解決納米壓印光刻的核心技術(shù)瓶頸。模板加工,可以用電子束直寫(xiě)技術(shù)解決;對(duì)準(zhǔn)問(wèn)題,我有新的方案。"
**國(guó)盯著他看了足足有一分鐘。
"小陳,"他緩緩開(kāi)口,"你知道你在說(shuō)什么嗎?"
"我知道。"
"這兩個(gè)問(wèn)題,全世界那么多專(zhuān)家都在研究,沒(méi)人能解決。你一個(gè)剛畢業(yè)兩年的小年輕,說(shuō)你能解決?"
"是的。"
"憑什么?"
陳遠(yuǎn)舟深吸一口氣。
這個(gè)問(wèn)題,他想過(guò)無(wú)數(shù)遍。
他沒(méi)法告訴**國(guó)真相——他是2045年穿越回來(lái)的,腦子里裝著一套超越這個(gè)時(shí)代二十年的技術(shù)系統(tǒng)。
但他也不能什么都不說(shuō)。
"張叔,"他說(shuō),"我在英特爾的時(shí)候,參與過(guò)一個(gè)內(nèi)部研究項(xiàng)目,關(guān)于納米壓印光刻的。當(dāng)時(shí)項(xiàng)目是保密的,我簽過(guò)保密協(xié)議,不能透露太多。但核心的技術(shù)思路,我都記在這里。"
他指了指自己的腦袋。
"這個(gè)項(xiàng)目后來(lái)因?yàn)榻?jīng)費(fèi)問(wèn)題被砍了,但技術(shù)積累還在。我回國(guó)之后,一直在琢磨怎么把這項(xiàng)技術(shù)落地。之前是我自己一個(gè)人單打獨(dú)斗,資源不夠,想法沒(méi)法驗(yàn)證。但現(xiàn)在……"
他頓了頓。
"如果有人愿意支持我,我可以讓這個(gè)技術(shù)變成現(xiàn)實(shí)。"
**國(guó)盯著他看了很久。
然后他站起身,走到窗邊,背對(duì)著陳遠(yuǎn)舟。
"小陳,你知道麒麟計(jì)劃嗎?"
"麒麟計(jì)劃?"陳遠(yuǎn)舟愣了一下,"沒(méi)有聽(tīng)說(shuō)過(guò)。"
"這是我們內(nèi)部的項(xiàng)目代號(hào)。"**國(guó)轉(zhuǎn)過(guò)身來(lái),"針對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化,由工信部、科技部、**聯(lián)合推進(jìn)的專(zhuān)項(xiàng)工程。目標(biāo)是五年內(nèi),實(shí)現(xiàn)14納米芯片制造設(shè)備的完全國(guó)產(chǎn)化。"
"14納米?"陳遠(yuǎn)舟皺起眉頭,"這個(gè)目標(biāo)……是不是太激進(jìn)了?"
"激進(jìn)?"**國(guó)苦笑,"小陳,你不知道現(xiàn)在外面是什么情況。**人把14納米以下的設(shè)備全禁了,連荷蘭人都開(kāi)始跟著起哄。如果我們自己不搞,五年之后,國(guó)內(nèi)所有的芯片廠都得關(guān)門(mén)。"
陳遠(yuǎn)舟沉默了。
他知道**國(guó)說(shuō)的沒(méi)錯(cuò)。
芯片制造是一個(gè)極其復(fù)雜的系統(tǒng)工程,涉及到幾百種設(shè)備、幾千道工序、幾萬(wàn)個(gè)參數(shù)。任何一環(huán)被人卡住,整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈就癱瘓。
2024年的中國(guó),在芯片制造領(lǐng)域,就像是一個(gè)被人扼住咽喉的巨人,空有一身力氣,卻使不出來(lái)。
"所以,"**國(guó)走回辦公桌前,雙手撐在桌面上,盯著陳遠(yuǎn)舟,"我需要你給我一個(gè)答案。"
"什么答案?"
"你說(shuō)的那個(gè)技術(shù)路線,是真的,還是在吹牛?"
陳遠(yuǎn)舟與他對(duì)視。
"張叔,"他說(shuō),"給我一臺(tái)能用的光刻機(jī),讓我看一眼,我就能告訴您,這條路能不能走通。"
三天后,陳遠(yuǎn)舟站在龍華那個(gè)破舊的廠房里。
他的面前,是一臺(tái)老舊的尼康光刻機(jī)——不是他自己的,是**國(guó)幫他從**倒閉的晶圓廠里淘來(lái)的。
這臺(tái)機(jī)器是1990年代的產(chǎn)品,曝光光源是i-line,波長(zhǎng)365納米,分辨率極限大概在500納米左右。放在今天,連最低端的芯片都做不了,基本就是個(gè)廢鐵。
但對(duì)陳遠(yuǎn)舟來(lái)說(shuō),這足夠了。
"系統(tǒng),"他在意識(shí)中說(shuō),"開(kāi)始全面掃描。"
"掃描啟動(dòng)……"
一道淡藍(lán)色的光芒從他眼中閃過(guò),將整臺(tái)設(shè)備籠罩其中。
無(wú)數(shù)數(shù)據(jù)流在他腦海中涌現(xiàn):
"檢測(cè)到設(shè)備型號(hào):Nikon i-line Stepper,型號(hào)NSR-2005i10A,制造年份1994年……"
"光源系統(tǒng):汞燈,中心波長(zhǎng)365納米,功率1200W,當(dāng)前功率衰減至設(shè)計(jì)值的67%……"
"工件臺(tái)系統(tǒng):氣浮軸承,最大行程200mm,定位精度±0.5微米,對(duì)準(zhǔn)精度±1微米……"
"投影物鏡:折射式,NA 0.45,場(chǎng)曲≤2微米,當(dāng)前狀態(tài):正?!?
"數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng):GPI*接口,最高傳輸速率1M*/s,正常……"
一分鐘后,掃描完成。
"掃描結(jié)果匯總……"
陳遠(yuǎn)舟的眼前出現(xiàn)了一張全息圖,將整臺(tái)光刻機(jī)的每一個(gè)部件都標(biāo)注得清清楚楚。
"基于以上分析,本系統(tǒng)給出以下改良方案:"
"方案名稱(chēng):28nm納米壓印光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化改良方案"
"總體思路:保留i-line光源作為固化光源,新增納米壓印模組和電子束對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)從傳統(tǒng)光刻到納米壓印的混合制程……"
"核心改進(jìn)點(diǎn):
一、新增納米壓印膠涂布模塊,采用自主研發(fā)的高靈敏度紫外固化壓印膠,固化時(shí)間≤3秒;
二、新增納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),采用散斑干涉原理,對(duì)準(zhǔn)精度≤5納米;
三、新增壓印脫模模塊,采用自適應(yīng)力學(xué)控制,脫模良率≥99%;
四、新增模板制備輔助系統(tǒng),結(jié)合電子束直寫(xiě)技術(shù),模板精度≤10納米。
"預(yù)計(jì)性能指標(biāo):
——制程節(jié)點(diǎn):28nm
——產(chǎn)能:1000片/小時(shí)
——良率:≥75%
——設(shè)備成本:≤8000萬(wàn)元/臺(tái)
"研發(fā)周期:18-24個(gè)月"
"所需核心材料清單:……"
"所需核心設(shè)備清單:……"
"所需關(guān)鍵技術(shù)人才清單:……"
陳遠(yuǎn)舟盯著那份方案,一個(gè)字都說(shuō)不出來(lái)。
太詳細(xì)了。
詳細(xì)到他只需要按照這份方案按部就班地執(zhí)行,就能做出28納米的光刻機(jī)。
他想起2045年的自己,曾經(jīng)參與過(guò)月球基地建設(shè)方案的設(shè)計(jì)。那份方案是上千個(gè)工程師花了三年時(shí)間才做出來(lái)的,用了最新的AI輔助設(shè)計(jì)系統(tǒng),調(diào)用了人類(lèi)所有的知識(shí)庫(kù)。
而現(xiàn)在,他只需要一個(gè)念頭,一份來(lái)自2045年的"超級(jí)**",就解決了2024年困擾整個(gè)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)幾十年的難題。
"系統(tǒng),"他問(wèn),"這份方案的可靠性是多少?"
"根據(jù)技術(shù)資料庫(kù)的統(tǒng)計(jì)分析,結(jié)合當(dāng)前工業(yè)基礎(chǔ)評(píng)估,本方案的可靠性約為87%。剩余13%的風(fēng)險(xiǎn)主要來(lái)自:核心材料純度、加工設(shè)備精度、團(tuán)隊(duì)經(jīng)驗(yàn)不足等方面。"
"87%……"陳遠(yuǎn)舟喃喃自語(yǔ),"比我預(yù)想的要高。"
"這是保守估計(jì)。"系統(tǒng)的聲音響起,"如果宿主能夠找到足夠優(yōu)秀的團(tuán)隊(duì),并且獲得足夠的資源支持,可靠性可以提升至95%以上。"
陳遠(yuǎn)舟深吸一口氣。
他看著眼前那臺(tái)破舊的光刻機(jī),忽然笑了。
"老伙計(jì),"他拍了拍機(jī)器的外殼,"沒(méi)想到吧?你還能再活一次。"
設(shè)備沒(méi)有回應(yīng),只是發(fā)出一陣輕微的嗡嗡聲。
但陳遠(yuǎn)舟知道,這只是開(kāi)始。
從這一刻起,他的命運(yùn),和這臺(tái)老舊的機(jī)器、和中國(guó)的芯片事業(yè),徹底綁在了一起。
他掏出手機(jī),給**國(guó)發(fā)了一條消息:
"張叔,路是通的。"
幾秒鐘后,**國(guó)的回復(fù)跳了出來(lái):
"明天上午,*****。有一個(gè)重要會(huì)議,你來(lái)參加。"
陳遠(yuǎn)舟看著那條消息,心跳加速。
"什么會(huì)議?"
**國(guó)的回復(fù)很簡(jiǎn)短:
"麒麟計(jì)劃啟動(dòng)儀式。你,是主角。"